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  金融界2024年12月5日音讯,国家知识产权局信息数据显现,ASM IP私家控股有限公司请求一项名为“晶片转移组件”的专利,公开号 CN 119069400 A,请求日期为 2024年5月。

  专利摘要显现,公开了Wafer转移组件、包含该Wafer转移组件的半导体处理设备和在多个Wafer上形成层的办法。所描绘的Wafer转移组件的施行例包含晶舟和结尾执行器,晶舟具有每个Wafer三个晶舟支撑件,用于支撑晶舟中的Wafer,结尾执行器包含三个结尾执行器支撑件,用于支撑结尾执行器上的Wafer。

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