金融界2024年12月12日音讯，国家知识产权局信息数据显现，杭州合盛微电子有限公司请求一项名为“一种避免显影液背流设备”的专利，公开号CN 119105245 A，请求日期为2024年11月。

  专利摘要显现，本请求公开了一种避免显影液背流设备，包含环形屏蔽组件以及升降组件，升降组件用于驱动环形屏蔽组件升降，得以从反面接近或远离设置在晶圆载台上的晶圆。本请求供给的防背流设备可以与晶圆载台同步旋转，不会同晶圆构成冲突，环形屏蔽组件可以紧贴晶圆反面，有用阻挠显影液背流，环形屏蔽组件还能构成环形气流屏蔽圈改动显影液的流向，进一步阻挠显影液流向晶圆载台或背洗组件无法清洁到的方位，升降组件可避开环形屏蔽组件与晶圆触摸时构成较强冲击力，并进步环形屏蔽组件与晶圆贴合的精准度。

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